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2.准分子激光器品种繁多，波长大多为紫外深紫外光谱带，随着性能指标的提高和可靠性增强，已从实验室进入多种实际应用领域，在微电子、微机械、微光学以及化学、生物学、、业加工、材料处理、科学研究诸方面已经得到应用。准分子激光将更加广泛地深入到更多的应用领域，并向更高的目标发展。
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