在现代半导体行业,对气体质量的监测至关重要。为了满足这一需求,我们引入了先进的Pico-lon技术燃料电池GPR-13-2000UHP传感器。该传感器的主要技术参数如下:
量程范围为0~100ppb、0-1/10/100ppm,提供可选范围0~50/500ppb、0-5/50ppm的O2,支持自动/手动调节。这种灵活性使得设备能够适应各种应用需求。
在准确性方面,我们的传感器在常温常压下,能够达到量程的1%的精度,分辨率可达0.5%。胶合材料与设备的寿命均压在18个月(在100ppm下),并且线性度强调了R平方值大于0.995,确保了数据的可靠性。
针对校准气体,建议使用80%FS O2 in N2标准气,以确保测量结果的准确性。响应时间为60秒可达到90%的浓度响应,恢复时间则从9ppm至10ppb需要15分钟,而从1ppm至1ppb则需30分钟。
在物理特征方面,设备采用台式封装,尺寸为13.9"x 9.9"x 13.4"。此外,用户还可以选择面板安装、壁挂安装或19”支架安装,以满足不同的空间需求。
电器特征方面,该设备获得了ISO9001和CE认证,并配备了大屏幕LCD显示,可实时显示样气的压力和温度。操作控制部分设有四个防水按键,用户可以方便地选择量程、进行校准、设置报警以及进行系统设置。
先进的智能功能包括量程自动切换、数据自动存储和图形显示,设备还支持通过USB进行远程控制。温漂抑制系统和自动压力、温度补偿功能有效提高了测量的稳定性。
在数据输出接口方面,设备可提供RS232或USB数字接口,支持0~1V或隔离的4~20mA模拟输出,并具备量程提示输出功能。同时,它还设有两路继电器报警输出,以及电源失败和传感器失败的报警输出,确保设备的安全性和可靠性。
供电方面,该设备支持220V AC@50Hz电源,能够在一定范围内满足各类应用需求。
应用领域方面,本设备专为半导体行业设计,能够测量H2、He、碳氢化合物、惰性气体等介质。此外,气路接口采用了1/4" VCR接头作为进气口,出气口则使用了1/4”卡套接头,确保连接的便捷与稳定。
设备工作压力范围为20~50psig*,最大可达150psig,适应不同的工艺需求,操作温度范围在5~+45℃,流量范围为1~3 SCFH,推荐流量为2 SCFH。这一系列的技术参数与优秀的设计,使得该传感器在气体监测中表现出色,成为半导体行业的重要工具。