主要特点
我司LJ型硅溶胶分散度小,可以根据客户需要选择不同的粒径范围,且纯度高、稳定性好,可广泛应用于微电子行业及高新技术产品表面超精密加工领域。LJ型硅溶胶采用国际先进的分级生长法,选用品质优秀的晶种进行合成,并且采用全自动的控制方式,保证了产品的致密性和稳定性,能够在CMP中达到不凝胶、不结晶的效果,且不腐蚀设备、无毒无害、不污染环境。
主要用途
LJ型硅溶胶主要应用于微电子、光电子、金属等行业中硅材料表面、砷化镓、碳化硅、蓝宝石表面以及各种金属的CMP工艺,也可以用于扩散片的CMP工艺。LJ型硅溶胶也可以应用于精密铸造行业、石油工业、制药工业、有机合成工业中催化剂载体和吸附剂的制造以及涂料制备,也可用于造纸、耐火材料、冷轧硅钢片、印刷、蓄电池等行业。
基本参数
| 规格 | 碱性 | 检测设备 | |||
| 产品名称 | LJ-8040 | LJ-12040 | ----------- |
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| SiO2浓度(%) | 38-42 | 38-42 | 浓度与比重关系表 |
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| pH值 | 9-10.5 | 9-10.5 | 精密pH计 |
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| 比重 | 1.280-1.300 | 1.280-1.300 | 比重计 |
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| 平均粒径(nm) | 70-90 | 100-120 | 激光粒度仪、SEM |
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| 分散度(PdI) | <0.10 | <0.10 | 激光粒度仪 |
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| 粘度(mPa.s) | <10 | <10 | 旋转粘度计配合毛细管粘度计 |
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| 氧化钠含量(%) | <0.2 | <0.2 | 火焰分光光度计、行标滴定法 |
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| 外观 | 乳白 | 乳白 | 浊度仪、目测 |
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