UPNM/SPS-LJ1602型蓝宝石基片CMP浆料

 UPNM/SPS-LJ-1602型蓝宝石基片CMP浆料是山东银丰纳米新材料有限公司生产的高纯度胶体浆料。该产品是为了适应蓝宝石行业提高加工效率的需要而生产的新一代蓝宝石基片CMP浆料，应用在蓝宝石衬底晶片2寸片、4寸片的CMP工艺中，产品投放市场后达到了较好的使用效果。产品CMP加工中具有移除速率高、悬浮性强、易清洗、使用寿命长等特点，加工后的蓝宝石基片表面平整度、粗糙度等参数达到国内先进水平。

主要特点

UPNM/SPS-LJ-1602型蓝宝石基片CMP浆料选用我司自行生产的粒径在100~120nm粒径范围的纳米二氧化硅水溶胶作为磨料，具有浓度较高，粒径均一性好，杂质沾污少等特点。该产品选用的辅助试剂多为有机试剂，避免了无机物对设备的腐蚀以及操作的危险性。产品无毒无味，适合蓝宝石行业封闭性较好的生产环境使用。产品在CMP工艺中具有易清洗、移除效率高、抛光平整度高等特点。在CMP过程中根据需要可以优化不同配比，均能达到最佳使用效果。与国内外同类产品相比，该产品在CMP过程中无结晶，划伤少，使用较为稳定，无毒无味，已经在国内的很多企业中规模应用。

主要用途

主要用于各种尺寸的蓝宝石基片的高质量平整化加工。

基本参数

使用方法

  UPNM/SPS-LJ-1602 型蓝宝石浆料建议和去离子水的配比为1:1-5， 也可根据实际要求改变配比。